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简单来说，超纯水设备和纯水设备分别是用来制取超纯水和纯水的装置。通常情况下，用电导率来衡量纯水，而用电阻率来衡量超纯水的水质。一般人为电导率在1-10μs/cm的为纯水，电阻率1-18MΩ·cm以上的为超纯水。这是二者在产水水质上的差异。制取超纯水的超纯水设备，在反渗透装置的基础上，会有混床，混床也是离子交换工艺的一种类型。但是现代的做法，大多会采用EDI装置作为超纯水的主要制取工艺。根据用水的要求的差异化，后端的处理工艺也不完全一样。
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